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MEMS微振镜

所属分类:MEMS微振镜 阅读次数:380 发布时间:2024-10-16

一种用于双轴光学扫描的高性能振镜。采用MEMS技术在硅衬底上形成镜面,通过电磁驱动实现水平扫描和垂直扫描。


应用场景
  • 车载激光雷达

  • 车载HUD

  • 智能车灯

  • 微投影

  • 工业自动化

  • 医疗OCT

产品技术特点
  • 水平:谐振式驱动

  • 垂直:线性驱动

  • 双轴独立驱动,低串扰

  • 大视场角(FOV)

  • 体积小

  • 低功耗

  • 可靠性高,已通过内部类车规级可靠性测试

  • 内置角度和温度传感器

产品参数

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