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英唐智控:新一代MEMS微振镜 赋能车载激光雷达

发布时间:2023-12-08     所属分类:集团新闻     阅读次数:9306

      2023年12月8日,英唐智控正式发布新一代8毫米MEMS微振镜产品,这款大尺寸振镜产品将成为英唐智控进入激光雷达市场的关键。


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      早在2011年英唐智控子公司日本英唐微技术有限公司开始研发用于HUD和Pico投影仪的MEMS微振镜。随着技术迭代,后续开始研发用于汽车激光雷达的MEMS微振镜,并在2020年成功实现量产。为了进一步加大在车载激光雷达领域的研发和生产力度,英唐智控于2022年募集专项资金,用于MEMS微振镜产品的研发与生产。此次新一代8毫米MEMS微振镜的发布推动了英唐智控自主研发半导体战略布局的进程,也为未来英唐智控(集团)的战略发展增添动力。

      MEMS微振镜的镜面尺寸对激光雷达的测距能力至关重要,特别是在同轴结构的激光雷达中,较大尺寸的MEMS微振镜能够增加出光和收光量,从而极大地扩展雷达的扫描距离并提升其测距能力。此次英唐智控推出新一代产品,相较已经发布的1毫米、4毫米规格,具备更大的镜面尺寸,适用于长距车载激光雷达, 拥有诸多优势:

  •    驱动电压小,FOV宽广

       采用电磁驱动,相较于静电驱动、压电驱动等驱动方式而言,电磁驱动所需的电压仅3V,可靠性高,并且能实现更宽广的FOV(30°x25°)。


  •    H/V二维扫描,双轴低串扰

      采用双轴独立驱动的模式,可进行二维扫描。其中H轴属于谐振式驱动,V轴属于线性驱动(光栅扫描);两轴驱动信号之间低串扰。


  •    高效率&低功耗并存

      H轴谐振频率达800Hz,V轴驱动频率为1~100Hz(10Hz);镜面镀金,反射率达到97%, 可实现更高水平的成像精度和分辨率。同时,该产品功耗低至136mW,扫描更为高效。


  •    体积小重量轻,助力激光雷达小型化

    封装尺寸压缩至24.8*23.14*7.58(mm),重量仅11g。在摆脱传统体积较大的机械运动装置的同时,减少了激光器和探测器数量,整体上使激光雷达体积和成本更可控。


  •    类车规级别可靠性

       针对车载温度要求高,以及镜面直径需求越来越大,悬臂梁结构难以支撑的技术难点。英唐智控对单一MEMS微振镜进行类车规级别(低温-40℃,高温105℃)内部可靠性验证,佐以10-2000Hz,3.11GRMS,20hrs, 6axis规格的振动验证。测试结果显示,英唐智控此前发布的MEMS微振镜产品在该级别要求的温度、湿度、振动、冲击等测试中均表现良好,能耐受该级别温度变化、振动与冲击,满足激光雷达在车载工作环境中的可靠性要求。

      在深入了解国内激光雷达客户需求的基础上,结合英唐智控数十年技术沉淀,推出了全新一代大尺寸MEMS微振镜产品,为行业带来更先进的解决方案。

      英唐智控的最新一代MEMS微振镜产品在继承前代产品可芯片化、无机械组件和毫米级尺寸等特性的基础上,进一步优化了产品的体积和成本,并在可靠性、量程等方面实现了技术的重大突破。


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