早在2011年英唐智控子公司日本英唐微技术有限公司开始研发用于HUD和Pico投影仪的MEMS微振镜。随着技术迭代，后续开始研发用于汽车激光雷达的MEMS微振镜，并在2020年成功实现量产。为了进一步加大在车载激光雷达领域的研发和生产力度，英唐智控于2022年募集专项资金，用于MEMS微振镜产品的研发与生产。此次新一代8毫米MEMS微振镜的发布推动了英唐智控自主研发半导体战略布局的进程，也为未来英唐智控（集团）的战略发展增添动力。

      MEMS微振镜的镜面尺寸对激光雷达的测距能力至关重要，特别是在同轴结构的激光雷达中，较大尺寸的MEMS微振镜能够增加出光和收光量，从而极大地扩展雷达的扫描距离并提升其测距能力。此次英唐智控推出新一代产品，相较已经发布的1毫米、4毫米规格，具备更大的镜面尺寸，适用于长距车载激光雷达, 拥有诸多优势：

•    驱动电压小，FOV宽广

       采用电磁驱动，相较于静电驱动、压电驱动等驱动方式而言，电磁驱动所需的电压仅3V，可靠性高，并且能实现更宽广的FOV（30°x25°）。

•    H/V二维扫描，双轴低串扰

      采用双轴独立驱动的模式，可进行二维扫描。其中H轴属于谐振式驱动，V轴属于线性驱动(光栅扫描)；两轴驱动信号之间低串扰。

•    高效率&低功耗并存

      H轴谐振频率达800Hz，V轴驱动频率为1~100Hz(10Hz)；镜面镀金，反射率达到97%， 可实现更高水平的成像精度和分辨率。同时，该产品功耗低至136mW，扫描更为高效。

•    体积小重量轻，助力激光雷达小型化

    封装尺寸压缩至24.8*23.14*7.58（mm），重量仅11g。在摆脱传统体积较大的机械运动装置的同时，减少了激光器和探测器数量，整体上使激光雷达体积和成本更可控。

•    类车规级别可靠性

       针对车载温度要求高，以及镜面直径需求越来越大，悬臂梁结构难以支撑的技术难点。英唐智控对单一MEMS微振镜进行类车规级别（低温-40℃，高温105℃）内部可靠性验证，佐以10-2000Hz，3.11GRMS，20hrs, 6axis规格的振动验证。测试结果显示，英唐智控此前发布的MEMS微振镜产品在该级别要求的温度、湿度、振动、冲击等测试中均表现良好，能耐受该级别温度变化、振动与冲击，满足激光雷达在车载工作环境中的可靠性要求。

      在深入了解国内激光雷达客户需求的基础上，结合英唐智控数十年技术沉淀，推出了全新一代大尺寸MEMS微振镜产品，为行业带来更先进的解决方案。

      英唐智控的最新一代MEMS微振镜产品在继承前代产品可芯片化、无机械组件和毫米级尺寸等特性的基础上，进一步优化了产品的体积和成本，并在可靠性、量程等方面实现了技术的重大突破。

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 产业子公司：深圳市英唐极光微技术有限公司

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